美国进口镀膜机设备Orion Comp系列卷绕镀膜设备爱加真空

  400毫米到2000毫米柔性基板在自由跨度方向和范围广泛的配置,适合高温和腐蚀过程。

  这个系列是一个Orion平台模块化沉积近乎无限范围的配置。标准卷处理和驱动机制纳入定制沉积区。野马的开放室设计主体提供了源配置的灵活性,同时还能使快速的预防性维修周期,使Orion系列最多的时间用于卷材的沉积。

  温度增加,冷却和均匀性是关键的，驱动程序在柔性衬底上沉积大格式，提供了一个Orion平台免费为范围广泛的加热、冷却和沉积源配置。

  单或双侧碰的柔性基板提供了全面的网络宽度以及可选的插页提供衬底和薄膜层保护整个制造过程。

  空气和过渡室被独立，在沉积面积允许快速辊变化没有暴露大气暴露到过程。“Orion”系列达到无与伦比的正常运行时间,实现完整的辊变化在不到3个小时。

  几个配置可供优化过程基于温度、沉积方法、源尺寸和取向。

  精密温度控制滚筒90英寸的直径

  ●±1%或1℃温度控制在滚筒表面

  ●-100℃到+ 300℃温度配置

  ●网络速度选项

  0.1 - 5米/分钟(+ / - X %的速度精度)

  1.0 - 15米/分钟(+ / - X %的速度精度)

  10 - 50米/分钟(+ / - X %的速度精度)

  注入沉积区域差异提供2来源/区

  ●X沉积区为正面涂层总计高达X源位置

  ●X沉积区为背面涂层总计高达X源位置

  沉积选项

  ●可旋转的或平面磁控管溅射阴极

  ●标准功率配置- RF、脉冲直流,直流、交流和HIPIMS

  ●每个沉积位置也可以配置为下面的沉积来源

  ●PECVD方法,离子源,XXXXX

  设施需求

  ●近似系统尺寸,长度,宽度和间隙区域

  ●专用冷冻水系统

  ●电力需求依赖于源配置

  ●多个专用的地面接地连接\

  ●洁净室的兼容性

  ●网络连接或专用电话线路